由于數(shù)控機(jī)床加工速度的提高，對加工精度的要求也越來越高。輪廓精度已成為影響工件表面質(zhì)量的重要因素。對于XY平臺伺服系統(tǒng)而言，輪廓加工軌跡是X軸和Y軸協(xié)調(diào)運(yùn)動的結(jié)果，輪廓精度是各單軸位置精度與兩軸聯(lián)動精度的總和。系統(tǒng)運(yùn)行過程中，X、Y軸受到載荷擾動、機(jī)械慣性、雙軸響應(yīng)速度失配等影響，對輪廓精度有很大影響。

　　與"旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲杠"進(jìn)給方式相比，直線電機(jī)伺服系統(tǒng)通過消除中間機(jī)械傳動鏈，可以實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)、高精度的直線運(yùn)動，避免了有間隙、摩擦、動剛度不足等缺點(diǎn)。本文XY平臺驅(qū)動元件采用永磁直線同步電動機(jī)，充分發(fā)揮了其高速動態(tài)響應(yīng)和跟蹤精度高的優(yōu)點(diǎn)。

　　單軸獨(dú)立控制廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動控制等諸多領(lǐng)域，通過降低各軸的跟蹤誤差間接降低輪廓誤差。本文的單軸速度控制器采用PDFF控制，這是一種雙自由控制結(jié)構(gòu)，可以考慮系統(tǒng)的抗干擾性能和快速跟蹤性能。

　　但是，由于CETF所包含的參數(shù)不確定性以及交叉耦合控制器參數(shù)的確定難度較大，本文提出了一種變增益交叉耦合控制方法，用來解決該問題。