直線電機(jī)技術(shù)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)所需要的最先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中。如果精度水平需要達(dá)到亞微米水平，位置穩(wěn)定性需要納米水平，必須采用最先進(jìn)的技術(shù)。對(duì)于這樣的要求，任何部件的缺陷都會(huì)影響整機(jī)的性能。正因?yàn)槿绱耍鼮橛脩籼峁┝艘粋€(gè)完整的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)平臺(tái)，擁有最高質(zhì)量的部件和最好的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)。在晶圓測(cè)試工具中，要求極高的精度和生產(chǎn)率。

　　為了滿足高標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用要求，LSM直線電機(jī)及其獨(dú)特的功能滿足了這個(gè)高科技行業(yè)的要求。最終，這些重要的部件組成了一個(gè)機(jī)械系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了最高的性能。

　　貼片機(jī)

　　大多數(shù)微電子器件都要求進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)（NDT）。該測(cè)試用于確保產(chǎn)品的功能和可靠性。由于在線檢測(cè)，速度必須快，精度必須高，以確保生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力不受質(zhì)量控制程序的影響。

　　根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品的類(lèi)型，從無(wú)源器件到復(fù)雜的IC,都需要不同的檢測(cè)技術(shù)，如光學(xué)檢測(cè)、x射線檢測(cè)或超聲波檢測(cè)。由直線電機(jī)技術(shù)組成的完整運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，為用戶帶來(lái)高精度和最大生產(chǎn)率。

　　在測(cè)試設(shè)備中，為了達(dá)到最大的性能，通常兩個(gè)重要的系統(tǒng)必須保持同步，移動(dòng)平臺(tái)和測(cè)試系統(tǒng)本身。由于HANS能夠提供一個(gè)完整的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制單元，保證了檢測(cè)設(shè)備的關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)技術(shù)要求。這使得設(shè)備制造商能夠?qū)Ｗ⒂谒麄冊(cè)跈z測(cè)系統(tǒng)、缺陷識(shí)別軟件等方面的核心競(jìng)爭(zhēng)力，同時(shí)要求晶圓運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的精度、重復(fù)性和生產(chǎn)力。